JP Patent

JP2020183506A — 硬化膜の製造方法、およびその使用

Assigned to Merck Patent GmbH · Expires 2020-11-12 · 6y expired

What this patent protects

【課題】高い膜密度、高い膜硬度および高いエッチング耐性を有する硬化膜の製造方法の提供。【解決手段】（１）基板の上方に（ｉ）組成物を適用する；（２）（ｉ）組成物から炭化水素含有膜を形成する；および（３）炭化水素含有膜にプラズマおよび又は電子線を照射し、硬化膜を製造する方法。その硬化膜の使用。【選択図】なし

USPTO Abstract

【課題】高い膜密度、高い膜硬度および高いエッチング耐性を有する硬化膜の製造方法の提供。【解決手段】（１）基板の上方に（ｉ）組成物を適用する；（２）（ｉ）組成物から炭化水素含有膜を形成する；および（３）炭化水素含有膜にプラズマおよび又は電子線を照射し、硬化膜を製造する方法。その硬化膜の使用。【選択図】なし

Drugs covered by this patent

Patent Metadata

Patent number
JP2020183506A
Jurisdiction
JP
Classification
—
Expires
2020-11-12
Drug substance claim
No
Drug product claim
No
Assignee
Merck Patent GmbH
Source
FDA Orange Book + USPTO grounding via Google Patents

Bibliographic data sourced from FDA Orange Book + USPTO public records. Plain-English summary generated by AI grounded in source text. Patent term extensions (PTR, SPC, pediatric) may shift the effective expiry. Not legal advice.

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