JP2017527329A — 垂直積層構造を備える、気密封止したインプラントセンサ
Assigned to インジェクトセンス， インコーポレイテッド · Expires 2017-09-21 · 9y expired
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本発明は、生理学的信号を測定するための、垂直に積層しかつ気密封止された埋め込み型圧力センサ装置について記載する。前記埋め込み型装置は、前記生理学的信号を測定するように構成される圧力センサを有する第１のウエハと、少なくとも１つのデジタル化集積回路を有する第２のウエハと、を含有する複数層を含む。第１のウエハは、密封封止を形成するために第２のウエハ上に垂直に積層又は配設されている。前記装置は、超コンデンサを有する第３の層及び薄膜電池を有する第４の層などエネルギーの貯蔵及び転送に適応する、１つ以上の追加の層を含むことができる。
USPTO Abstract
本発明は、生理学的信号を測定するための、垂直に積層しかつ気密封止された埋め込み型圧力センサ装置について記載する。前記埋め込み型装置は、前記生理学的信号を測定するように構成される圧力センサを有する第１のウエハと、少なくとも１つのデジタル化集積回路を有する第２のウエハと、を含有する複数層を含む。第１のウエハは、密封封止を形成するために第２のウエハ上に垂直に積層又は配設されている。前記装置は、超コンデンサを有する第３の層及び薄膜電池を有する第４の層などエネルギーの貯蔵及び転送に適応する、１つ以上の追加の層を含むことができる。
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