JP2014069171A — 成膜装置および霧化装置
Assigned to CHALLENGE KK · Expires 2014-04-21 · 12y expired
What this patent protects
【課題】液体材料のミスト化量が多く、霧化時間が短く、超音波振動素子の寿命が長く、かつ基板上に安定した成膜ができる成膜装置および霧化装置を得る。 【解決手段】霧化装置１００と、液体材料のミストを通す霧化誘導管３００と、成膜室２００とで構成される成膜装置であって、前記霧化装置は、液体材料を収容する容器と、容器および中間溶液を収容し、中間溶液に容器の底面部を浸漬させる溶液槽と、溶液槽に配置され、容器の底面部に対して超音波を照射する超音波振動子部１１３とを備え、前記超音波振動子部は、基板と、基板上の円周部に配置された複数の超音波振動子により構成されており、複数の…
USPTO Abstract
【課題】液体材料のミスト化量が多く、霧化時間が短く、超音波振動素子の寿命が長く、かつ基板上に安定した成膜ができる成膜装置および霧化装置を得る。 【解決手段】霧化装置１００と、液体材料のミストを通す霧化誘導管３００と、成膜室２００とで構成される成膜装置であって、前記霧化装置は、液体材料を収容する容器と、容器および中間溶液を収容し、中間溶液に容器の底面部を浸漬させる溶液槽と、溶液槽に配置され、容器の底面部に対して超音波を照射する超音波振動子部１１３とを備え、前記超音波振動子部は、基板と、基板上の円周部に配置された複数の超音波振動子により構成されており、複数の超音波振動子のうち駆動される超音波振動子が、円周部時計回り又は反時計回りに順次繰り返し切り替えされて駆動され、前記成膜室は、容器と、基板ホルダーと、霧化誘導管と連結した整流板４００で構成されている成膜装置。 【選択図】図１
Drugs covered by this patent
- glycopyrrolate (Glycopyrrolate) · Yonsei University
Bibliographic data sourced from FDA Orange Book + USPTO public records. Plain-English summary generated by AI grounded in source text. Patent term extensions (PTR, SPC, pediatric) may shift the effective expiry. Not legal advice.
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