JP2007194072A — 走査電子顕微鏡等に用いる電子銃の制御装置及び制御方法
Assigned to Hitachi High Tech Corp · Expires 2007-08-02 · 19y expired
What this patent protects
【課題】煩雑な操作を必要とすることなく電子銃のバイアス電圧が最適に設定されるように制御することができる装置及び方法を提供する。 【解決手段】フィラメントとウェネルト電極との間に配置された複数の抵抗値が異なる抵抗を備えた電子銃においてフィラメントからのエミッション電流を制御する方法であって、加速電圧範囲を前記抵抗の数と同数の領域に分割する設定を受け付け、前記加速電圧領域の大小に応じた抵抗値を有する抵抗が当該加速電圧領域に対して用いられるように抵抗を切り替える。 【選択図】図１
USPTO Abstract
【課題】煩雑な操作を必要とすることなく電子銃のバイアス電圧が最適に設定されるように制御することができる装置及び方法を提供する。 【解決手段】フィラメントとウェネルト電極との間に配置された複数の抵抗値が異なる抵抗を備えた電子銃においてフィラメントからのエミッション電流を制御する方法であって、加速電圧範囲を前記抵抗の数と同数の領域に分割する設定を受け付け、前記加速電圧領域の大小に応じた抵抗値を有する抵抗が当該加速電圧領域に対して用いられるように抵抗を切り替える。 【選択図】図１
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