JP2006090414A — スライドバルブ装置及びスライドバルブ装置の製造方法
Assigned to Toshiba Corp · Expires 2006-04-06 · 20y expired
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【課題】 摺接部における流体の漏れを抑制し得るスライドバルブ装置及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 流体が移動する第１の流路２１を有する第１の部材１１と、第１の部材１１に対して摺接し、第１の流路２１に連通する第２の流路２２を有する第２の部材１２と、第１の部材１１の第２の部材１２と摺接する摺接面に設けられ、第１の流路２１に連通する第１の連通穴３５を有する第１の弾性膜３０とを備える。またスライドバルブ装置１の製造方法において、弾性膜３０を成膜する工程の開始から弾性膜を焼成する工程が完了するまでの間の少なくとも一部において、第１の流路の開放端から気…
USPTO Abstract
【課題】 摺接部における流体の漏れを抑制し得るスライドバルブ装置及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 流体が移動する第１の流路２１を有する第１の部材１１と、第１の部材１１に対して摺接し、第１の流路２１に連通する第２の流路２２を有する第２の部材１２と、第１の部材１１の第２の部材１２と摺接する摺接面に設けられ、第１の流路２１に連通する第１の連通穴３５を有する第１の弾性膜３０とを備える。またスライドバルブ装置１の製造方法において、弾性膜３０を成膜する工程の開始から弾性膜を焼成する工程が完了するまでの間の少なくとも一部において、第１の流路の開放端から気体を噴出して弾性膜３０に第１の流路に連通する連通穴３５を形成する。 【選択図】 図１
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