JP2003213463A — 金属腐食防止剤および洗浄液
Assigned to Sumitomo Chemical Co Ltd · Expires 2003-07-30 · 23y expired
What this patent protects
(57)【要約】 【課題】抵抗が低い金属配線を有する半導体デバイスを 洗浄する場合、金属配線を腐食することが少ない金属腐 食防止剤を提供する。 【解決手段】［１］トリアジン誘導体、プテリン誘導 体、およびフルオロアルキルアクリレートコポリマーか らなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物を含有す ることを特徴とする金属腐食防止剤。 ［２］プテリン誘導体が、２−アミノ−４，６−ジヒド ロキシプテリンまたは葉酸である［１］記載の金属腐食 防止剤。 ［３］［１］または［２］記載の金属腐食防止剤を含有 してなる洗浄液。 ［４］［３］記載の洗浄液で金属配線を有する…
USPTO Abstract
(57)【要約】 【課題】抵抗が低い金属配線を有する半導体デバイスを 洗浄する場合、金属配線を腐食することが少ない金属腐 食防止剤を提供する。 【解決手段】［１］トリアジン誘導体、プテリン誘導 体、およびフルオロアルキルアクリレートコポリマーか らなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物を含有す ることを特徴とする金属腐食防止剤。 ［２］プテリン誘導体が、２−アミノ−４，６−ジヒド ロキシプテリンまたは葉酸である［１］記載の金属腐食 防止剤。 ［３］［１］または［２］記載の金属腐食防止剤を含有 してなる洗浄液。 ［４］［３］記載の洗浄液で金属配線を有する半導体デ バイスを洗浄する洗浄方法。
Drugs covered by this patent
- Balversa (ERDAFITINIB) · Johnson & Johnson
Bibliographic data sourced from FDA Orange Book + USPTO public records. Plain-English summary generated by AI grounded in source text. Patent term extensions (PTR, SPC, pediatric) may shift the effective expiry. Not legal advice.
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