JP Patent

JP2002178279A — 基板搬送方法

Assigned to Ulvac Inc · Expires 2002-06-25 · 24y expired

What this patent protects

(57)【要約】 【課題】真空中で正確にロボットアームにより基板を搬 送する方法を提供すること。 【解決手段】真空中において基板４を搬送するロボット アームの伸び量を検出し、その伸び量を該ロボットアー ムの駆動装置１０にフィードバックしてアーム駆動量を 補正する。補正を所定の基板の搬送枚数毎に行ない、或 いは伸び量が所定の値を超えたときに行う。

USPTO Abstract

(57)【要約】 【課題】真空中で正確にロボットアームにより基板を搬 送する方法を提供すること。 【解決手段】真空中において基板４を搬送するロボット アームの伸び量を検出し、その伸び量を該ロボットアー ムの駆動装置１０にフィードバックしてアーム駆動量を 補正する。補正を所定の基板の搬送枚数毎に行ない、或 いは伸び量が所定の値を超えたときに行う。

Drugs covered by this patent

Patent Metadata

Patent number
JP2002178279A
Jurisdiction
JP
Classification
—
Expires
2002-06-25
Drug substance claim
No
Drug product claim
No
Assignee
Ulvac Inc
Source
FDA Orange Book + USPTO grounding via Google Patents

Bibliographic data sourced from FDA Orange Book + USPTO public records. Plain-English summary generated by AI grounded in source text. Patent term extensions (PTR, SPC, pediatric) may shift the effective expiry. Not legal advice.

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