JP2000258645A — ３次元周期構造体及び２次元周期構造体並びにそれらの作製方法

USPTO Abstract

(57)【要約】 【課題】 フォトニックバンドギャップ効果を増大でき るように図った３次元周期構造体および作製方法の提 供。 【解決手段】 屈折率の異なる複数種類の物質３０１、 ３０２が厚さ方向に周期的に積層された３次元周期構造 体であって、厚さ方向の１周期内でそれぞれの物質が２ 次元の周期的凹凸を持つ膜状または２次元周期的な網状 の形をなし、それぞれの物質からなる領域の面内の厚さ が面内で変調されている。各物質３０１、３０２は上 面、下面が２次元的凹凸周期構造を有し、厚さ方向の１ 周期内で、複数の方向からある物質の原料物質を入射さ せることで、その物質の上面の凹凸は下面の凹凸よりも 強調され、別のある物質は再付着効果を持つデポジショ ンまたはエッチングにより上面の凹凸は下面の凹凸より も弱められる。これら工程によりそれぞれの物質からな る領域の厚さが面内で変調が与えられ、フォトニックバ ンドギャップ効果が大きくなる。