EP2438339A1 — Organe de circulation fluidique, et ensemble de circulation fluidique comprenant au moins un tel organe
Assigned to Institut Polytechnique de Grenoble · Expires 2012-04-11 · 14y expired
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Un tel organe de circulation (1B) en semi-conducteur à actionnement thermique comprend un cadre support (10) et un diaphragme (6) bi-morphe en deux parties (7,8) superposées couplé au cadre (10). Une première couche mince (20) d'un matériau d'arrêt pour une attaque sélective du s…
USPTO Abstract
Un tel organe de circulation (1B) en semi-conducteur à actionnement thermique comprend un cadre support (10) et un diaphragme (6) bi-morphe en deux parties (7,8) superposées couplé au cadre (10). Une première couche mince (20) d'un matériau d'arrêt pour une attaque sélective du substrat en semi-conducteur est posée sur le cadre (10), alors que le diaphragme (6) en deux parties (7,8) est posé sur une même face de ladite première couche mince (20).
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