CN111735770A — 光谱成像装置和方法
Assigned to Zolix Instruments Co ltd · Expires 2020-10-02 · 6y expired
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本发明公开了一种光谱成像装置和方法。该光谱成像装置包括:发光单元,用于生成激发光;二维振镜组,用于使激发光在第一维度上形成线激发光,并且使得激发光在第二维度上步进以在第一维度上依次形成线激发光,以扫描待检测样品的待检测区域;光学部件,用于将在第一维度上依次形成的线激发光的至少一部分引导至待检测区域;光谱检测装置,用于收集所依次形成的线激发光在待检测样品上激发的光信号,所激发的光信号经由光学部件引导至光谱检测装置;以及移动装置,用于与光谱检测装置配合,以使得光谱检测装置能够当所述激发光在第二维度上步进时同步地收集所依次形成的线激发光在待检测区域上激发的光信…
USPTO Abstract
本发明公开了一种光谱成像装置和方法。该光谱成像装置包括:发光单元,用于生成激发光;二维振镜组,用于使激发光在第一维度上形成线激发光,并且使得激发光在第二维度上步进以在第一维度上依次形成线激发光,以扫描待检测样品的待检测区域;光学部件,用于将在第一维度上依次形成的线激发光的至少一部分引导至待检测区域;光谱检测装置,用于收集所依次形成的线激发光在待检测样品上激发的光信号,所激发的光信号经由光学部件引导至光谱检测装置;以及移动装置,用于与光谱检测装置配合,以使得光谱检测装置能够当所述激发光在第二维度上步进时同步地收集所依次形成的线激发光在待检测区域上激发的光信号,以形成待检测区域的光谱图像。
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