CN104916584A — 一种制作方法、阵列基板及显示装置
Assigned to BOE Technology Group Co Ltd · Expires 2015-09-16 · 11y expired
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本发明提供一种制作方法、阵列基板及显示装置。方法包括：在衬底基板上依次形成不同层的半导体图形、栅极和第一绝缘图形；半导体图形在衬底基板上的正投影覆盖第一绝缘图形在衬底基板上的正投影，第一绝缘图形在衬底基板上的正投影覆盖栅极在衬底基板上的正投影；以第一绝缘图形和栅极为掩膜，通过一次离子注入工艺对半导体图形进行处理，形成有源层、重掺杂源极区、轻掺杂源极区、重掺杂漏极区和轻掺杂漏极区。本发明只通过1次离子注入工艺即可形成具有轻掺杂、重掺杂的源漏极。由于离子注入次数少，故可以减少制造时间，进而降低制造成本。此外，具有轻掺杂、重掺杂的源漏极可降低漏极电流，从而提高…
USPTO Abstract
本发明提供一种制作方法、阵列基板及显示装置。方法包括：在衬底基板上依次形成不同层的半导体图形、栅极和第一绝缘图形；半导体图形在衬底基板上的正投影覆盖第一绝缘图形在衬底基板上的正投影，第一绝缘图形在衬底基板上的正投影覆盖栅极在衬底基板上的正投影；以第一绝缘图形和栅极为掩膜，通过一次离子注入工艺对半导体图形进行处理，形成有源层、重掺杂源极区、轻掺杂源极区、重掺杂漏极区和轻掺杂漏极区。本发明只通过1次离子注入工艺即可形成具有轻掺杂、重掺杂的源漏极。由于离子注入次数少，故可以减少制造时间，进而降低制造成本。此外，具有轻掺杂、重掺杂的源漏极可降低漏极电流，从而提高显示面板工作的稳定性。
Drugs covered by this patent
- Cutivate (FLUTICASONE PROPIONATE) · Teva Pharm
Bibliographic data sourced from FDA Orange Book + USPTO public records. Plain-English summary generated by AI grounded in source text. Patent term extensions (PTR, SPC, pediatric) may shift the effective expiry. Not legal advice.
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